结合相关理论得知，三次元测量仪误差补偿方法主要有三种，即温度补偿法、软件修正补偿法、测量力误差补偿法，对此下文将进行相关分析。

1 温度补偿法
温度是引起三次元测量仪误差的重要因素，且在此因素条件下，静态误差与动态误差可能同时存在，所以在测量当中采用温度补偿法是消除测量误差的重要举措。在相关理论当中，温度补偿法分为三个部分，即标温下结构参数标定、温度实时采集、误差系数补偿，下文将对三个步骤的具体内容进行分析。
（1）标温下结构参数标定。在温度引起的静态误差当中，需要先确认正常温度条件下，设备最低误差参数，即三次元测量仪未受温度影响之前，其所有结构的参数数值，确认之后即可得到一个标准的对比参数集，主要用于之后的误差值对比当中。
（2）温度实时采集。在完成上述参数标定工作之后，需要对当前存在温度误差的三次元测量仪。依照标定参数集中的每个参数项进行实际测量、采集，以得到设备当前的参数集合。之后将参数标定结果与实际采集结果相互对比，即可得到当前三次元测量仪误差与标准参数之间的差距，以供后续补偿调整。
（3）误差系数补偿。根据上述温度实时采集与标定参数的对比结果，可以采用温度热变形误差公式来进行补偿，在补偿过程当中，要将对比得出的三次元测量仪实际误差与参数误差的比值代入公式当中，通过数值补偿将设备参数调整到与标定参数一致的水平下即可。
此外，介于上述分析可见，温度补偿法的应用相对复杂，且需要进行多项对比，那么为了保障该方法应用顺利，建议采用仿真软件来模拟标定参数设备与误差设备，以此得到两个模型，借助模型的直观性可以简化其中计算过程。

2 软件修正补偿法
软件修正补偿法是一种针对三次元测量仪动态误差来进行补偿的方法，在实际应用当中十分常见。具体应用上，介于上述动态误差的温度、环境、人工分析结果可见，动态误差可以被分为两个类型，这两个类型被称为实时性动态误差、非实时性动态误差，那么针对实时性动态误差，在软件修正补偿法当中，直接对现场误差数据进行调整，使其与标准参数一致即可；针对非实时性误差，则利用采集系统来获得设备当前误差系数，再结合标准系数进行矫正即可。

3 测量力误差补偿法
在三次元测量仪应用当中，如果其测量力存在异常容易导致侧杆弯曲，相应引起误差现象，此类误差属于非实时性动态误差，那么针对此类误差，除了上述提到的软件修正补偿法以外，还可以采用测量力误差补偿法来进行调整。具体应用当中，首先利用仿真软件（或其他建模软件）来建立三次元测量仪的测头、测杆结构模型，其次将当前测量力输入模型当中，在看测杆是否弯曲、弯曲程度，如果存在弯曲，则减弱模型中的测量力，直至测杆不弯曲，且满足测量需求位置，最终将模型测量力参数输入三次元测量仪当中即可起到应有效果。