为了便于对工件进行探测，需要各种探针，通常将可更换的测杆称为探针。探针对三次元测量能力、三次元测量精度有很大影响，在选择三次元测量仪的探针时建议应注意下列各点。
1、三次元测量仪的探针直径必须比测端球径小，在不发生干涉条件下，应尽量增大探针直径。
2、需要长探针时，常采用硬质合金探针，以提高刚度。对于特别长的探针，应使用质量轻的陶瓷探针。
3、增加探针长度对增强测量能力有好处，但使探针刚度急剧下降。在满足测量要求前提下，探针应尽量短。
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